[HF20244099]硅基FET芯片微量掺杂分析成交公告

发布日期：2024-12-17 浏览次数：

1.项目名称：硅基FET芯片微量掺杂分析

2.成交供应商名称：湖北九峰山实验室

3.成交供应商地址：武汉市东湖高新技术开发区九龙湖街9号

4.成交金额(币种)：15.3912万元

5.付款方式：服务完成且验收合格后15个工作日内支付合同金额100%

6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	动态二次离子质谱分析（DSIMS），提供硅基FET芯片中纳米尺度单层或多层薄膜微量掺杂杂质浓度、深度分布及界面分析，数量22unit。	合同签订后10个工作日内
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华中科技大学集成电路学院

2024年12月17日

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