[HF20243883]基于压电单晶的高频谐振器加工成交公告

发布日期：2024-12-05 浏览次数：

1.项目名称：基于压电单晶的高频谐振器加工

2.成交供应商名称：北京中科飞鸿科技股份有限公司

3.成交供应商地址：北京市海淀区银桦路60号

4.成交金额(币种)：14.050万元

5.付款方式：服务完成且验收合格后3个工作日之内付合同金额100%。

6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	128LN4-1.6GHz谐振器加工：选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、晶圆背面镀膜	合同签订之日起15日
2	LT复合晶圆-1.7GHz谐振器加工：选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片	合同签订之日起15日
3	LN复合晶圆-3.5GHz谐振器加工：选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、生长SiO2、CMP抛光	合同签订之日起15日
4	LT复合晶圆-2GHz谐振器加工：选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、生长SiO2、CMP抛光	合同签订之日起15日

华中科技大学集成电路学院

2024年12月05日

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