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1.项目名称：MEMS器件工艺加工
2.成交供应商名称：北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
3.成交供应商地址：北京市海淀区海淀路5号
4.成交金额(人民币)：19.500万元
5.付款方式：合同签订后预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后支付合同金额70%。
6.主要成交标的：
序号 | 服务内容 | 服务期限 |
1 | 单面/双面光刻，图形转移 | 2024.11.30前完成服务 |
2 | 深硅刻蚀，刻蚀深度2/8um | 2024.11.30前完成服务 |
3 | 溅射金属 Ti/Pt/Au | 2024.11.30前完成服务 |
| 4 | 阳极对准键合、KOH减薄 | 2024.11.30前完成服务 |
华中科技大学机械科学与工程学院
2024年11月19日
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