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地址：湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号南九楼三楼
电话：027-87543054
主任信箱：cgzx@hust.edu.cn
技术支持：上海瞬速信息技术有限公司
采购中心位置
一、采购项目信息
1.项目名称：MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工
2.预算金额：190000元
二、供应商资格条件
1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容
| 序号 | 名称 | 数量 | 品牌 | 规格型号 | 技术参数 | 售后服务 |
| 1 | MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工 | 1 | 技术指标: (1)光刻精度:1um (2)光刻胶厚度:>10um; (3)金属镀膜厚度误差:±50nm; 晶圆数量:12个 |
验收合格后12个月，产品加工未达到技术指标需收件后72小时内开始重新加工。 |
四、采购文件获取
与项目联系人约定。
五、响应文件递交
按采购人规定的方式和时间递交。
六、项目联系人
联系人：梅云飞
电话：18571813086
邮箱：2019612216@hust.edu.cn
华中科技大学物理学院
2024年10月25日
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