[HF20241687]尾气处理器询价公告

发布日期：2024-06-28 浏览次数：

一、采购项目信息

1.项目名称：尾气处理器

2.预算金额：198000元

二、供应商资格条件

1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定

2.需具备其他资质：详见采购文件

三、采购内容

序号	名称	数量	品牌	规格型号	技术参数	售后服务
1	尾气处理器	2			1.能处理H2/CH4/SiH4/PH3 等易燃易爆、有毒有害气体，处理效率达到98%以上，达到环保要求。具有SEMI S2安全认证。2.全自动控，PLC+触摸屏控制界面。3.配备不少于4个处理入口，KF40接口。带循环水系统，循环水配备双流量显示仪表，耐腐蚀水泵。4.废气的进出口必须有负压表及负压监控报警表。5.设备总处理量不低于500SLM。	所有硬件一年免费保修、所有软件一年免费保修升级、电话报修后4小时上门服务、12小时内排除故障。

四、采购文件获取

与项目联系人约定。

五、响应文件递交

按采购人规定的方式和时间递交。

六、项目联系人

联系人：徐巍

电话：02787792410

邮箱：xu_wei@hust.edu.cn

华中科技大学武汉光电国家研究中心

2024年06月28日

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