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采购中心位置
一、采购项目信息
1.项目名称：光刻胶与显影液
2.预算金额：305700元
二、供应商资格条件
1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容
| 序号 | 名称 | 数量 | 品牌 | 规格型号 | 技术参数 | 售后服务 |
| 1 | 光刻胶 | 6 | AZ 10XT（520）；3.75L/瓶。 参数： 377 nm处的吸收率：0.860-0.960 l/gcm； 薄膜斥度为4000 rpm ：6.020-6.120 um； GC: PGMEA ：99.6-100.0 %； 液体颗粒＞为(l5u，桸仆样品 ：最大70； CD vs 参考值 ：-3.0-3.0 %； TM： 铁 ：最大200ppb； TM： 钾 ：最大50ppb； TM： 钠 ：最大200ppb； 25℃切的粘度：415-555cst 水 ：最大0.5% ； 理化特性: 外观与性状： 红琥珀色透明液体，特殊气味 ； 相对密度（水＝1）： 1.055g/cm3 (20摄氏度)； 沸点（℃）：> 155 °C ； 饱和蒸气压（kpa）：2.2Torr 闪点（℃）： 120 °F ； 溶解性： 分两层，不溶于水。 |
分多次送货， 到货后还有7个月以上的有效期 | ||
| 2 | 光刻胶 | 9 | LOR-10B；1L/每瓶。 参数 ： 外观： 清晰 黄色； 25°C, g/cm 3： 0. 97 I - 0. 97 4； 粘度在25°C est ：89土II. 6； 薄膜厚度，%VS控制组：+/-5.0%； 气相色普法测定溶剂杂质：＜1.0%； 过滤水平 ：0.2um； 有关基本物理及化学特性的信息 形状: 液体； 颜色: 黄棕色的； 气味: 甜的嗅觉阈限未决定； 沸点/初沸点和沸程: 120 °C； 闪点: 30 °C； 可燃性 (固体、气体): 不适用的； 点火温度: 270 °C； 爆炸的危险性: 该产品并非爆炸性的然而有可能形成可爆炸性的空气/蒸汽混合物； 较低: 2.3 Vol %； 蒸气压在 20 °C: 12 hPa。 |
分多次送货， 到货后还有7个月以上的有效期 | ||
| 3 | 显影液 | 4 | 300MIF；20KG/桶。 产 品 组 成： 四甲基氢氧化铵 (CH３)４NOH 2.38%； 水 H2O 97.62%； 沸 点 近似145*C； 密 度近似 1g/cm3(20*C)； 蒸 气 压:近似5 mbar (20*C) ； 颗粒 （>0.5um）： Max 200 ea/mL。 |
分多次送货， 到货后还有7个月以上的有效期 | ||
| 4 | 显影液 | 20 | AZ400K；3.75L/瓶。 理化特性： 外观与性状： 无色无味透明液体； 熔点（℃）： 零下55摄氏度 ； 相对密度（水＝1）： 1.085； 沸点（℃）：146摄氏度 ； 饱和蒸气压（kpa）：3.5mmHg(20摄氏度) ； 闪点（℃）： 47.7摄氏度 ； 引燃温度（℃）： 270摄氏度； 溶解性：20.5wt%(20摄氏度)； 主要用途：Polymide的显影液； 颜色颗粒： Max 25 ea/mL； 当量浓度R1： 0.4770-0.487 meq/ml； 当量浓度R2： 1.385-1.395 meq/ml； 比重（25°C/25°C） ： 0.0861-1.096； 氯 ： Max 2.0 ppm； 粒子计数->0.5um ： Max 75 ea/mL。 |
分多次送货， 到货后还有7个月以上的有效期 |
四、采购文件获取
与项目联系人约定。
五、响应文件递交
按采购人规定的方式和时间递交。
六、项目联系人
联系人：鄂飞
电话：15927017348
邮箱：345364075@qq.com
华中科技大学物理学院
2024年03月25日
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