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技术支持：上海瞬速信息技术有限公司
采购中心位置
一、采购项目信息
1.项目名称：HMDS烘箱
2.预算金额：98000元
二、供应商资格条件
1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容
| 序号 | 名称 | 数量 | 品牌 | 规格型号 | 技术参数 | 售后服务 |
| 1 | HMDS烘箱 | 1 | 温度范围：50-250℃ 控温精度：±0.5℃ 温度分辨率：±0.1℃ 加热方式：四面加热 洁净度：class100 极限真空度：＜10pa； 氮气流量：0-100L/min 真空泵：涡旋干泵，抽速≥3L/s，常压~100pa时间＜5min； 漏气速率：≤2Kpa/24h； 包含HMDS注液系统，采用液位监控警报，SUS316#不锈钢药液管道，防锈蚀电磁阀，系统内所有管路及阀门组件确保密封无泄漏； 控制方式：采用日本三菱PLC+7‘触摸屏人机交互界面，操作简洁，有使用记录； 箱体：内腔体采用优质SUS316#不锈钢内胆，不漏气，不产尘，适用于芯片等结晶环境，密封性好。 |
整机质保三年 |
四、采购文件获取
与项目联系人约定。
五、响应文件递交
按采购人规定的方式和时间递交。
六、项目联系人
联系人：郑盼盼
电话：13297094806
邮箱：2020310150@hust.edu.cn
华中科技大学武汉光电国家研究中心
2023年07月30日
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