[HF20243589]掩模缺陷叠层衍射检测方法研究成交公告

发布日期:2024-11-20   浏览次数:

1.项目名称:掩模缺陷叠层衍射检测方法研究

2.成交供应商名称:中国仪器仪表学会

3.成交供应商地址:北京市海淀区知春路6号锦秋国际大厦A 

4.成交金额(币种):19.885万元

5.付款方式:服务完成且验收合格后15个工作日之内付合同金额100%。

6.主要成交标的:

序号

服务内容

服务期限

1

提供掩模缺陷叠层衍射检测灵敏度分析研究报告、掩模缺陷可印刷性及补偿研究报告各1份 

 自合同签订起90天 

2

 

 

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华中科技大学机械科学与工程学院

2024年11月20日

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