1.项目名称:掩模缺陷叠层衍射检测方法研究
2.成交供应商名称:中国仪器仪表学会
3.成交供应商地址:北京市海淀区知春路6号锦秋国际大厦A座
4.成交金额(币种):19.885万元
5.付款方式:服务完成且验收合格后15个工作日之内付合同金额100%。
6.主要成交标的:
序号 |
服务内容 |
服务期限 |
1 |
提供掩模缺陷叠层衍射检测灵敏度分析研究报告、掩模缺陷可印刷性及补偿研究报告各1份 |
自合同签订起90天 |
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3 |
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华中科技大学机械科学与工程学院
2024年11月20日
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